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          鋁型材防靜電工作臺的應用范圍廣泛

          發布時間:2022-03-12 10:34:37發布人:admin來源:查看次數:284
          由于鋁型材防靜電工作臺超精密定位工作臺應用范圍廣泛,國內外多個研究所和企業對其開展了大量的研究,經歷了由早期的低精度定位工作臺到新的高精度定位工作臺的發展過程。早期的精密定位工作臺多為一維低速的。圖0.1所示的為法國Mekid等人研制的摩擦驅動精密工作臺,其重量約為100kg,采用液體靜壓導軌支承,工作行程為220 lnl/1,直線定位工作臺的定位精度可達16 nln,大運動速度可達10mm/s。

            不銹鋼工作臺是光刻機上極其重要的關鍵部件,它直接影響光刻機所能實現的特征線寬尺寸和生產率。不銹鋼工作臺精密加工技術的發展,尤其是各種光刻技術的發展,離不開超精密定位工作臺技術的發展和進步。光刻技術的更新與新一代光刻機的研制對定位工作臺提出了更高的要求,主要表現在精度、速度和行程等方面。因此,美國,日本等發達國家在研究光刻技術的同時,積極開展對定位工作臺的研究,不斷研制出高精度、高速度、長行程的定位工作臺來滿足光刻技術發展的需要,而目前主力的產品是超精密氣浮定位工作臺。 光刻技術在經歷了接觸式接近式/投影式-1:1反射掃描投影式一步進縮小投影式等幾個大的技術階段后,其特征線寬變得越來越小,硅片尺寸則逐漸變大,同時要求其具有高分辨率和大視場,因此,光刻機投影光刻物鏡的設計、制造難度增大,成本急劇上升,為了克服投影光刻物鏡成本急劇上升的弊端,目前光刻機正在向步進掃描投影方式過渡,幾大光刻機生產廠家都已推出了步進掃描投影光刻機新產品。不銹鋼工作臺步進加掃描的工作方式雖然有利于降低投影光刻物鏡成本,卻對工作臺提出了更高的要求。不銹鋼工作臺與以往的步進重復投影光刻方式相比,工作臺除了要完成超精密步進、定位、調整 等動作外,還要進行動態掃描曝光。

          對于100 nm線寬光刻機來說,鋁型材防靜電工作臺要求兩者之間的同步誤差必須控制在0.006~0.01 μm以內,難度極大。因此,研制可精密控制的二維或多維運動的精密定位工作臺成了必然的發展趨勢。世界三大光刻機生產商日本的佳能公司和尼康公司、荷蘭的Asml公司在其主力產晶掃描式光刻機中都采用了基于氣浮支承技術的定位工作臺方案。


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