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          鋁型材防靜電工作臺的運用技術

          發布時間:2022-03-14 10:29:21發布人:admin來源:查看次數:314

            鋁型材防靜電工作臺微光刻技術、數控加工、生物技術等領域的迅速發展,精益管工作臺對精密定位工作臺的精度、運行速度、行程、自動化程度和可靠性等提出了更高的要求。這些要求并非是孤立的,其中一些要求往往是相互聯系和相互制約的。例如:定位精益管工作臺的高速度和高精度要求是相互矛盾的,為了滿足高精度的要求,定位精益管工作臺的小運動量(或位移分辨率)要越小越好,而在伺服系統調速比有限的情況下,定位工作臺的速度又不能隨意地提高;長行程和高精度的要求也是矛盾的,行程越長,精益管工作臺意味著在同樣精度要求下對定位工作臺中的導軌直度誤差就越敏感,對零部件的加工和安裝精度要求也更為苛刻,即定位精益管工作臺的行程受到現有加工和安裝精度的限制;精益管工作臺自動化程度與可靠性也是一對矛盾,自動化程度越高,系統越復雜,實現高的可靠性就越困難,同時,高精度、高速度、長行程對控制系統的實現也提出了挑戰。而在這眾多的矛盾中,突出的是如何消除精密定位工作臺運動部件間的摩擦。解決這一矛盾的有效方法之一就是采用氣浮技術,因而也就出現了基于氣浮支承和直線電動機驅動技術的超精密、長行程氣浮定位工作臺。

           鋁型材防靜電工作臺直接驅動即利用亢線IU動機盲接驅動定位工作臺,精益管工作臺這種傳動療電動機到定位工作臺之間的傳動環口,把傳動鏈縮妊為零,實現“零傳動”與間接驅動^止州比,直接驅動片式更特定現高速度和高加速度的運動+q時再配合高精度的導軌就町以冀現業微米級和納米綴的定位精度常川的直接驅動確陰種電融式盲線電動機驅動和壓電式直線也動機醫動。我Ⅲ在研制直線電動機驅動方向量然L經股得r不少成果,精益管工作臺衄至令還沒有兩品化的直線電動機產品在國外,電磁式直線電動機的牛產商主要有美國的Anorad公司德國的lndr蜘at公司等,壓電式育線電動機。

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